ゼータ電位・粒径分布測定装置

溶液中の微粒子の粒径分布やゼータ電位の測定を行う装置です。、レーザー散乱を用いて、極めて簡便にサブnmから数μmの粒子を測定できます。この講...

FT-IR

FT-IR(フーリエ変換赤外分光光度計)とは、物質に赤外光を照射し、透過または反射する光を検出することで、試料の定性定量を行う装置です。本装...

電子ビーム描画装置

電子ビーム露光装置は数ナノメーター程度に集束した電子ビームをブランキング装置でON/OFFし、パターンを描くために偏向コイルの働きで所定の位...

走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡とはプローブを用いて、特別な前処理をすることなくナノスケールの表面観察を行うことが出来る装置です。AFM・DFMなど様々...

コンパクトスパッタ

スパッタ法を用いて基板上に薄膜を成膜する装置です。アルゴンガスをプラズマ化し、加速したプラズマにより弾き飛ばされたターゲット粒子を試料に堆積...

エリプソメーター

エリプソメータ ーとは、膜の厚みや屈折率などを、光を利⽤して測定する装置です。この装置は⾮常に薄い膜の厚みをnm単位で測定することができます...

サーフェスプロファイラー

先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)で測定物表面を低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う触針式表面形状測定器です。針が表面の...

マスクレス装置

CADで作画した微⼩なパターンデータを、直接基板上に露光できる装置です。通常は光を基板上の薬品に当て、フォトリソグラフィという微細加⼯を⾏う...

SEM-EDX

本装置は電子顕微鏡の一種です。細く絞った電子線を試料表面に走査させることで表面から発生する二次電子を検出し顕微鏡像を得ることができます。低加...

集束イオンビーム加工観察装置

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)とは、イオンビームによって試料の微細加工を行うとともに、その観察像を得ることができる装置です。その他に...

広視野ラマン顕微鏡

広視野ラマン顕微鏡は従来のラマン顕微鏡に比べて広い視野、深い被写界深度、長い作動距離という特長を持っています。それらにより一般的なラマン顕微...

3Dプリンター

3次元のモデルを、樹脂を堆積させ作成する装置です。試作品のモックアップ(実物とほぼ同様に似せて作られた模型)などに用います。3Dモデルを輪切...

レーザーラマン顕微鏡

レーザーラマン顕微鏡とは、物質や細胞のラマン散乱光を測定し画像を得ることが出来る装置です。ラマン散乱光とは光が分子に当たって散乱される光です...

クリーンルーム

クリーンルームとは、コンタミネーションコントロール(清浄度管理)が行われている部屋のことで、空気中における浮遊微粒子・浮遊微生物を限定された...

Copyright © Photonics Advanced Research Center, Osaka University. All Rights Reserved.