表面評価

エリプソメーター

Woollam / M2000

エリプソメータ ーとは、膜の厚みや屈折率などを、光を利⽤して測定する装置です。
この装置は⾮常に薄い膜の厚みをnm単位で測定することができます。また、膜の屈折率も測定できます。この装置の主な仕様は、試料サイズが5ミリファイから200ミリファイ、スポット径は4ミリファイ、波長範囲は248ナノメーターから995ナノメーターです。

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測定及びデータ解析

[ 00:18:13 ]

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