微細加工

コンパクトスパッタ

ULVAC/ACS-4000

スパッタ法を用いて基板上に薄膜を成膜する装置です。
アルゴンガスをプラズマ化し、加速したプラズマにより弾き飛ばされたターゲット粒子を試料に堆積させます。
金属・酸化物等様々な成膜を行えます。
この講座では基本的な操作方法と、実際にプロセスを行う流れを説明します。

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操作方法及びプロセスの流れ

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