微細加工

電子ビーム描画装置

Elionix / ELS-3700

電子ビーム露光装置は数ナノメーター程度に集束した電子ビームをブランキング装置でON/OFFし、パターンを描くために偏向コイルの働きで所定の位置に偏向します。このような電子ビームの動きとステージの動きを組み合わせて、基板表面上のレジストを直接露光することによって数百nm以下の微細パターンを形成できます。

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電子ビーム調整編

[ 00:17:45 ]

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CADデータおよび露光条件設定編

[ 00:19:04 ]

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