微細加工

集束イオンビーム加工観察装置

FB2200

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)とは、イオンビームによって試料の微細加工を行うとともに、その観察像を得ることができる装置です。
その他にも、BMPを読み込んで描画する機能や、試料を薄く削り出し拾い上げるマイクロサンプリング機能、カーボンやタングステンを試料に堆積させるデポジション機能が使用できます。
本講座では、基本的な加工・観察について一連の手順をご説明します。

1

FIB装置の概要

[ 00:04:35 ]

2

加工の準備

[ 00:12:14 ]

3

加工

[ 00:16:39 ]

関連資料はありません

Copyright © Photonics Advanced Research Center, Osaka University. All Rights Reserved.