観察

SEM-EDX

Keyence/VE-8800

本装置は電子顕微鏡の一種です。
細く絞った電子線を試料表面に走査させることで表面から発生する二次電子を検出し顕微鏡像を得ることができます。低加速電圧観察対応なので、非導電性試料も非蒸着で観察できます。
また、付属のEDX検出器を用いて、二次電子と同時に放出される特性X線を検出することで元素分析を行うこともできます。Be~Puを検出することができます。

1

SEM-EDX

[ 00:09:55 ]

2

SEM観察

[ 00:23:56 ]

3

EDX分析

[ 00:28:29 ]

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