微細加工

マスクレス装置

Nano System Solutions / DL1000

CADで作画した微⼩なパターンデータを、直接基板上に露光できる装置です。
通常は光を基板上の薬品に当て、フォトリソグラフィという微細加⼯を⾏う際に使⽤します。
通常の⼯程ではフォトマスクと呼ばれる光の形を決めるプレートが必要ですが、本装置には
不要なため短時間で⼤量の微細構造を作製できます。
本講座では、基本的な露光操作について一連の手順をご説明します。

1

マスクレス装置

[ 00:20:14 ]

関連資料はありません

Copyright © Photonics Advanced Research Center, Osaka University. All Rights Reserved.