表面評価

サーフェスプロファイラー

KLA-Tencor P-16+ Surface Profiler

先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)で測定物表面を低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う触針式表面形状測定器です。
針が表面の段差に直接触れ、ステージを動かすことで微小な段差に沿って針が上下します。同時にセンサーが針の位置を記録することにより段差を測定します。

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サーフェスプロファイラー

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